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本发明公开了一种动力电池检测用氢气MEMS传感器及其制备方法，制备方法包括：将四氯化锡、包含氯化钯的掺杂金属盐、去离子水混匀，加入固化剂和分散剂搅拌，升温静置后得到气敏材料浆液；将硅片上的电极利用光刻胶保护，利用狭缝式涂布机将浆液涂覆在硅片...
该专利属于安徽维纳物联科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过安徽维纳物联科技有限公司授权不得商用。

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