下载背面源极/漏极接触件及其形成方法的技术资料

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本公开涉及背面源极/漏极接触件及其形成方法。一种半导体器件包括:器件层,该器件层包括:沟道区域;栅极堆叠,位于沟道区域和第一绝缘鳍的侧壁之上并且沿着沟道区域和第一绝缘鳍的侧壁;以及外延源极/漏极区域,与沟道区域相邻,其中,外延源极/漏极区域...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

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