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本实用新型涉及半导体真空设备安装技术领域，公开了一种用于半导体真空设备的ESC安装结构，包括相互连接的ESC、ESC支撑体，还包括螺钉，所述ESC支撑体远离所述ESC的一面设有螺孔，所述螺孔与所述螺钉配合。本实用新型解决了现有技术存在的容易...
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