下载半导体结构及半导体结构的制作方法的技术资料

文档序号:34971930

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本发明涉及半导体技术领域,提出了一种半导体结构及半导体结构的制作方法。半导体结构包括衬底和连通部,连通部位于衬底内,连通部包括第一连接层、第二连接层以及第三连接层,第二连接层位于第一连接层上,第三连接层位于第二连接层上;其中,第一连接层、第...
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