温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本申请涉及一种采样量测方法、系统、计算机设备及存储介质。该采样量测方法，包括：获取制程站中每个工艺要素的预设量测比率；获取所述制程站中与到达量测站的待量测批次产品关联的工艺要素的实际量测比率；当所述关联的工艺要素的实际量测比率小于相应的预设...
该专利属于长鑫存储技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过长鑫存储技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。