温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本申请实施例提供了一种半导体清洗设备。该半导体清洗设备的清洗机构包括依次设置的清洗结构、洗手结构及干燥结构，暂存机构活动设置于洗手结构上，并且能相对于洗手结构在第一位置与第二位置之间移动；传输机构包括有第一机械手及第二机械手，第一机械手用于...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。