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一种半导体结构的制作方法及其结构技术
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文档序号:34952940
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本公开实施例涉及半导体领域,提供一种半导体结构的制作方法及其结构,其中,半导体结构的制作方法包括:提供基底,基底包括沿第一方向和第二方向阵列排布的半导体通道,且相邻的半导体通道之间露出部分基底;形成金属层,金属层位于半导体通道的侧壁,且还位...
该专利属于长鑫存储技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过长鑫存储技术有限公司授权不得商用。
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