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本实用新型提供一种真空泵，包括电机、电机轴承座，第一定子轴承、第二定子轴承和真空泵底座；第一定子轴承、电机和第二定子轴承沿电机轴承座的轴线方向依次叠设在电机轴承座中；真空泵底座封闭电机轴承座的底部开口；第一定子轴承位于第二定子轴承远离真空泵...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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