下载气浮台的技术资料

文档序号:34938124

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本申请公开了一种气浮台。气浮台包括负载盘、气浮轴承组件、光栅组件和小角度测量组件;气浮轴承组件包括气浮轴和轴承座,气浮轴与负载盘相连,且气浮轴和轴承座之间可形成有气膜,以通过气膜产生抵消负载盘的重力而让负载盘浮起并围绕气浮轴自由转动;光栅组...
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