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本实用新型公开了一种适用于管式PECVD设备的真空抽口匀流板机构，包括：反应室、匀流板机构、设置于反应室尾部的抽气口及设置于反应室头部的进气口，匀流板机构设置于反应室尾口且位于所述抽气口的内侧，其包括：匀流板安装钣金、法兰、第一匀流板及第二...
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