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半导体装置的制造方法、半导体制造系统以及半导体装置制造方法及图纸
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下载半导体装置的制造方法、半导体制造系统以及半导体装置的技术资料
文档序号:34905930
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根据一个实施方式,提供了一种半导体装置的制造方法。半导体装置的制造方法包括:检查基板上的多个芯片区域的每一个,将检查后的芯片区域判定为合格芯片区域或不合格芯片区域的步骤。基板的多个芯片区域在平面方向上排列。多个芯片区域被构成为一个系统。半导...
该专利属于铠侠股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过铠侠股份有限公司授权不得商用。
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