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实施方式提供能够实现工艺的稳定化的半导体制造装置以及半导体制造方法。实施方式的半导体制造装置具有旋转部、喷嘴、第一电极、及第二电极。旋转部对具有外周部的基板进行保持，使基板旋转。喷嘴向基板的外周部供给抗蚀剂液。第一电极对从喷嘴排出的抗蚀剂液...
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