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本发明公开一种根据基板或基板处理工艺控制在基板上安置的夹圈的个数，从而，能够有效地防止基板的弯曲变形(warpage)的基板处理装置及基板处理方法。根据本发明的实施例的基板处理装置，包括：支撑卡盘，其用于支撑所述基板；及弯曲变形防止装置，其...
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