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一种训练神经网络的方法包括获得测试基板的两个地表实况厚度轮廓，当测试基板在不同厚度的研磨垫上时获得通过原位监测系统测量的测试基板的两个厚度轮廓，通过在两个轮廓之间内插来产生针对在两个厚度值之间的另一厚度值的估计的厚度轮廓，以及使用估计的厚度...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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