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实施方式涉及基板处理装置及基板处理方法。根据其中一个实施方式，基板处理装置具备混合部，其将含有金属元素的第1液体和表现出碱性的第2液体混合，生成含有所述金属元素且表现出碱性的第3液体。所述装置还具备将所述第3液体向基板供给的供给部。所述装置...
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