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本发明的光罩清洁设备应用于一光罩盒，光罩盒包括一上盖及一底盘，底盘上供容置一光罩，光罩具有一光罩护膜，光罩清洁设备包括一主壳体、一次壳体、一光罩开盖装置、一运送装置及至少一风刀装置，次壳体是连接该主壳体。光罩开盖装置包括一升降元件及一开盖元...
该专利属于科毅科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过科毅科技股份有限公司授权不得商用。

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