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本实用新型公开了一种电子束偏转装置及镀膜设备，电子束偏转装置包括偏转组件，偏转组件包括线圈与偏转驱动件，电子束穿过线圈并在磁场作用下偏转，偏转驱动件与线圈连接，并在至少一个方向上驱动线圈摆动；镀膜设备包括上述的电子束偏转装置。本实用新型中，...
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