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本实用新型公开了一种适用于承载硬轴单晶炉内置加料器的推车,包括推车架体;旋转架,所述旋转架转动连接在推车架体上,所述旋转架具有两个平行设置的连接柱,所述连接柱用于套接内置加料器的夹持工装;转动限位装置,所述转动限位装置与旋转架连接,所述转动...该专利属于徐州晶睿半导体装备科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过徐州晶睿半导体装备科技有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种适用于承载硬轴单晶炉内置加料器的推车,包括推车架体;旋转架,所述旋转架转动连接在推车架体上,所述旋转架具有两个平行设置的连接柱,所述连接柱用于套接内置加料器的夹持工装;转动限位装置,所述转动限位装置与旋转架连接,所述转动...