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声表面波谐振器以及声表面波谐振器的制造方法技术
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文档序号:34853873
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本发明的声表面波谐振器,包括:压电基板;以及IDT电极,该IDT电极具有:第一介质层,该第一介质层由Ti或Cr构成,并被形成在所述压电基板上、第二介质层,该第二介质层由Al或AlCu合金构成,并被形成在所述第一介质层上、第三介质层,该第三介...
该专利属于广东广纳芯科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过广东广纳芯科技有限公司授权不得商用。
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