下载一种多层嵌套反射镜位姿的支撑型精密调整装置的技术资料

文档序号:34853734

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本发明公开了一种多层嵌套反射镜位姿的支撑型精密调整装置,装置包括底架,转台,圆形底板,测量支架,四个非接触传感器,芯轴,反射镜,前辐板,调整组件,支撑组件。其中,调整组件由调整电机,调整联轴器,调整输出轴,连杆A,调整底板,调整锁紧扣,下楔...
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