一种多层嵌套反射镜位姿的支撑型精密调整装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种多层嵌套反射镜位姿的支撑型精密调整装置，装置包括底架，转台，圆形底板，测量支架，四个非接触传感器，芯轴,反射镜,前辐板，调整组件，支撑组件。其中，调整组件由调整电机，调整联轴器，调整输出轴，连杆A，调整底板，调整锁紧扣，下楔面，上楔面，承载连接座，承载面，高精度力传感器，调整架，连杆B，连杆C，悬臂底座A，悬臂支撑A，微调整器A，立板，微调整器B，悬臂支撑B，悬臂底座B，悬臂梁组成，为杠杆式对称浮动支撑结构，用于实现对承载反射镜位姿的精密调整；支撑组件由支撑电机，支撑连接块，支撑联轴器，支撑底座，支撑台，支撑调整螺母，支撑锁紧螺母，支撑臂，收紧弹簧组成，用于实现对前辐板的稳定支撑；非接触传感器共有四个，从上往下依次安装在测量支架上，用于实现对旋转过程中相应器件外形面跳动的精准测量，从而计算出反射镜当前的位姿。该装置操作方便，能够实现对反射镜位姿的精准测量和精密调整，最终提高多层嵌套反射镜的装调精度。最终提高多层嵌套反射镜的装调精度。最终提高多层嵌套反射镜的装调精度。

【技术实现步骤摘要】
一种多层嵌套反射镜位姿的支撑型精密调整装置


[0001]本专利技术属于光学器件精密调整领域，具体涉及一种多层嵌套反射镜位姿的支撑型精密调整装置。

技术介绍

[0002]近几十年来多层嵌套反射镜由于其聚焦效率高、光学增益大的特点，成为深空探测中接收X射线光学镜头的核心结构件，国外已经开展了大量的相关研究。国内针对多层嵌套反射镜的研究尚处于起步阶段，所需相关的精密成品需要从国外进口，由于多层嵌套反射镜具有复杂的制造、装调、测试等工艺流程，需要分阶段、分步骤、分条件的去挨个突破。相关研究表明对于一体式的电铸镍型多层嵌套反射镜，其装调过程的好坏很大程度上决定了最终光学镜头的精度，但是由于单层反射镜属于薄片(几百微米厚)多层数(多达几十到上百层)器件，其在装调过程中的精度的检测及微调整成为关键，因此需要设计一套装调装置来解决调过程中遇到的问题，提高最终的多层嵌套反射镜的装调精度。

技术实现思路

[0003]有鉴于此，本专利技术提供了一种多层嵌套反射镜位姿的支撑型精密调整装置，该装置能够实现对反射镜面形轮廓的检测、反射镜位姿的微调整，且该装本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种多层嵌套反射镜位姿的支撑型精密调整装置，其特征在于：包括底架(1)，转台(2)，圆形底板(3)，测量支架(4)，非接触传感器A(5)，非接触传感器B(6)，非接触传感器C(7)，非接触传感器D(8),芯轴(9),反射镜(10),前辐板(11)，调整组件(12)，支撑组件(13)；所述调整组件(12)由调整电机(121)，调整联轴器(122)，调整输出轴(123)，连杆A(124)，调整底板(125)，调整锁紧扣(126)，下楔面(127)，上楔面(128)，承载连接座(129)，承载面(1210)，高精度力传感器(1211)，调整架(1212)，连杆B(1213)，连杆C(1214)，悬臂底座A(1215)，悬臂支撑A(1216)，微调整器A(1217)，立板(1218)，微调整器B(1219)，悬臂支撑B(1220)，悬臂底座B(1221)，悬臂梁(1222)组成，为杠杆式对称浮动支撑...

【专利技术属性】
技术研发人员：李朝将，李二波，苏泰玉，张之敬，萨仁其木格，熊健，
申请(专利权)人：北京理工大学，
类型：发明
国别省市：