下载存储器器件的制造方法、存储器器件及系统的技术资料

文档序号:34845374

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种存储器器件的制造方法、存储器器件及系统。该制造方法包括:提供半导体结构,所述半导体结构包括堆叠层,所述堆叠层包括堆叠的第一堆栈和第二堆栈,所述第一堆栈和第二堆栈分别包括交替堆叠的牺牲层和电介质层,其中,所述第一堆栈的顶层与所述...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。