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存储器器件的制造方法、存储器器件及系统技术方案
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文档序号:34845374
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本发明涉及一种存储器器件的制造方法、存储器器件及系统。该制造方法包括:提供半导体结构,所述半导体结构包括堆叠层,所述堆叠层包括堆叠的第一堆栈和第二堆栈,所述第一堆栈和第二堆栈分别包括交替堆叠的牺牲层和电介质层,其中,所述第一堆栈的顶层与所述...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。
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