温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种MEMS振动传感器，属于麦克风技术领域。MEMS振动传感器包括壳体、PCB板、声学元件、振动模块和挡板，壳体与PCB板密封连接并围设形成第一腔体；振动模块位于第一腔体内，振动模块包括围堰、弹性振动片和质量块，围堰的一端固...
该专利属于迈感微电子（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过迈感微电子（上海）有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。