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工作台系统、工作台系统操作方法、检查工具、光刻设备、校准方法和装置制造方法制造方法及图纸
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文档序号:34830234
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相对于参考物(RE)可移动的工作台(ST)包括:轴承(BE),用于支撑和引导所述工作台相对于二维平面中的所述参考物的移动;以及致动器系统(ACT),用于相对于所述参考物向所述工作台施加力,以相对于所述二维平面中的所述参考物移动或定位所述工作...
该专利属于ASML荷兰有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过ASML荷兰有限公司授权不得商用。
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