温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种应用于半导体制造工艺的具有间隙调节功能的喷头，半导体制备装置的技术领域，具体包括主体和密封盖本体；所述主体用于放置晶圆；所述密封盖本体与主体可拆卸连接；所述密封盖本体上设置有安装板，所述安装板上连接有喷头；所述安装板与密...
该专利属于成都高真科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过成都高真科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。