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本发明公开了一种滤波器的制备方法。滤波器的制备方法包括：提供第一衬底和第二衬底；在第一衬底的表面形成单晶压电层；在单晶压电层背离第一衬底的表面形成第一电极；将第一电极背离单晶压电层的表面与第二衬底键合；去除第一衬底；在单晶压电层背离第一电极...
该专利属于迈感微电子（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过迈感微电子（上海）有限公司授权不得商用。

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