下载一种半导体器件的制造方法的技术资料

文档序号:34767550

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种半导体器件的制造方法,涉及半导体技术领域,用于同时提升器件结构均为环栅晶体管的NMOS晶体管和PMOS晶体管的载流子迁移率。所述制造方法包括:在衬底具有的第一阱区上形成第一环栅晶体管、以及在衬底具有的第二阱区上形成第二环栅晶...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。