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本发明的一个方式的输送装置具有:第一保持部,其用于与基板的端部接触而对上述基板进行保持；以及第二保持部,其由弹性部件形成,用于仅与上述基板的背面接触而对上述基板进行保持。保持。保持。
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该专利属于东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。

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