输送装置、处理系统以及输送方法制造方法及图纸

本发明专利技术的一个方式的输送装置具有:第一保持部,其用于与基板的端部接触而对上述基板进行保持；以及第二保持部,其由弹性部件形成,用于仅与上述基板的背面接触而对上述基板进行保持。保持。保持。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】输送装置、处理系统以及输送方法


[0001]本专利技术涉及输送装置、处理系统以及输送方法。

技术介绍

[0002]公知有具备在端部对晶圆进行保持的边缘夹持功能的拾取器(例如,参照专利文献1)。
[0003]<现有技术文献>
[0004]<专利文献>
[0005]专利文献1:日本国特开2012
‑
74498号公报

技术实现思路

[0006]<本专利技术要解决的问题>
[0007]本专利技术提供一种能够根据基板的种类而改变基板的保持位置的技术。
[0008]<用于解决问题的手段>
[0009]本专利技术的一个方式的输送装置具有:第一保持部,其用于与基板的端部接触而对上述基板进行保持；以及第二保持部,其由弹性部件形成,用于仅与上述基板的背面接触而对上述基板进行保持。
[0010]<专利技术的效果>
>[0011]根据本本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种输送装置,具有:第一保持部,其用于与基板的端部接触而对上述基板进行保持；以及第二保持部,其由弹性部件形成,用于仅与上述基板的背面接触而对上述基板进行保持。2.根据权利要求1所述的输送装置,其中,上述第一保持部设于不与被上述第二保持部保持的上述基板接触的位置。3.根据权利要求1或2所述的输送装置,其中,上述第一保持部在比上述第二保持部对上述基板进行保持的位置高的位置对上述基板进行保持。4.根据权利要求1至3中任一项所述的输送装置,其中,上述第一保持部包括:限制体,其以上述基板不在水平方向移动的方式进行限制；以及按压体,其自上述限制体分离设置,并且以与上述基板的端部接触自如的方式移动。5.根据权利要求1至4中任一项所述的输送装置,其中,上述第二保持部设于不与被上述第一保持部保持的上述基板接触的位置。6.根据权利要求1至5中任一项所述的输送装置,其中,被上述第一保持部保持的上述基板的水平位置与被上述第二保持部保持的上述基板的水平位置不同。7.根据权利要求1至6中任一项所述的输送装置,其中,被上述第一保持部保持的上述基板的铅直位置与被上述第二保持部保持的上述基板的铅直位置不同。8.根据权利要求1至7中任一项所述的输送装置,其中,还具有拾取器,其与用于对上述基板进行输送的输送臂连接,上述第二保持部包括设于上述拾取器的上表面的多个O型环。9.根据权利要求8所述的输送装置,其中,上述第...

【专利技术属性】
技术研发人员：冈野真也，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：