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本申请实施例公开了一种承载组件以及晶圆生产设备，包括承载件、保护件和连接件，保护件套设于所述承载件至少部分上；连接件连接所述承载件以及所述保护件，所述承载件周向上的各个位置与所述保护件之间在所述承载件的径向上留有间隙，本申请实施例中，因连接...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。

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