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本申请案涉及一种吸盘底座。具有所述吸盘底座的所述静电吸盘用于在加工工件的步骤期间支撑所述工件。所述静电吸盘底座组件通过增材制造技术制备。材制造技术制备。材制造技术制备。
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该专利属于恩特格里斯公司所有，仅供学习研究参考，未经过恩特格里斯公司授权不得商用。

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