下载半导体装置结构的技术资料

文档序号:34602204

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结构包含第一介电部件,沿第一方向延伸,第一介电部件具有第一侧和与第一侧相对的第二侧。此结构包含第一半导体层,设置相邻于第一介电部件的第一侧,第一半导体层沿垂直于第一方向的第二方向延伸。此结构包含接触蚀刻停止层,接触第一介电部件和第一半导体层...
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