下载一种光刻胶出胶量控制系统的技术资料

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本实用新型涉及晶圆封装设备领域,尤其涉及一种光刻胶出胶量控制系统,目的是实现在半导体封装时,光刻胶出胶量的动态控制,达到节省人工以及提升效率的目的;包括:出胶泵,内部设置有用于容纳光刻胶的第一腔室,在所述第一腔室内部设置有用于推动光刻胶朝向...
该专利属于长电集成电路(绍兴)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过长电集成电路(绍兴)有限公司授权不得商用。

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