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本申请实施例公开了一种半导体设备，半导体设备包括晶圆盒、抓取机构以及检测模块。晶圆盒具有容置晶圆的容置空间，晶圆盒包括位于容置空间内且沿预设方向间隔设置的多个承载件，每个承载件均用于承载一个晶圆，抓取机构用于抓取放置于承载件上的晶圆并将晶圆...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。

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