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本发明涉及晶圆划伤扫描的检测方法，包括步骤一、预设扫描路径，扫描路径包括相互交叉的两组移动线组，每一组移动线组包括相互平行的多条移动线路；步骤二、控制扫描装置与晶圆沿预设扫描路径相对运动，以使扫描装置沿预设扫描路径对晶圆进行扫描。本申请中每...
该专利属于清华大学所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学授权不得商用。

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