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本发明公开了一种硅芯片双面光刻精细对准装置，属于硅芯片加工领域，一种硅芯片双面光刻精细对准装置，包括底板，所述底板顶面对称设置有两个活动板，所述活动板远离底板中心一侧侧壁靠近顶面处均安装有步进电机，所述步进电机输出轴上均固定连接有转轴，所述...
该专利属于无锡昌德微电子股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡昌德微电子股份有限公司授权不得商用。

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