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本发明提供一种管路检测方法，包括：等离子体形成步骤、控制半导体工艺腔室的一根进气管路向腔体中提供工艺气体，并控制启辉组件电离腔体中的工艺气体以形成等离子体；识别步骤、控制光信号检测装置检测等离子体产生的光信号，并将光信号对应于各波长的幅值与...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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