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本发明提供一种卡盘装置，用于半导体设备，卡盘装置包括承载盘，承载盘的内部设置有至少一个第一电极，第一电极用于与供电组件连接，以接收供电组件提供的射频信号，卡盘装置还包括至少一个电磁感测组件，电磁感测组件与第一电极一一对应设置，且电磁感测组件...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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