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本申请涉及一种晶圆表面缺陷的检测方法、系统、计算机设备和存储介质。晶圆表面缺陷的检测方法，包括：获取目标生产工艺前晶圆表面缺陷的第一缺陷分布图和目标生产工艺后晶圆表面缺陷的第二缺陷分布图；以第一缺陷分布图中缺陷的中心为中心的建立第一几何图形...
该专利属于长鑫存储技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过长鑫存储技术有限公司授权不得商用。

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