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一种提升p型含氧金属化合物薄膜迁移率的方法技术
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文档序号:34476233
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本发明公开一种提升p型含氧金属化合物薄膜迁移率的方法,通过在p型含氧金属化合物薄膜中掺杂原子,所掺杂的原子的最外围轨道能和氧2p轨道形成化学键,能提高价带顶部的散度和增加价带顶的斜率,故而能提高提升p型含氧金属化合物薄膜迁移率。可以是,所掺...
该专利属于厦门理工学院所有,仅供学习研究参考,未经过厦门理工学院授权不得商用。
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