下载一种半导体碱蚀刻的转动装置的技术资料

文档序号:34472610

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本实用新型公开了一种半导体碱蚀刻的转动装置,其结构包括基座,其结构还包括升降气缸和旋转电机,基座的顶部设有平行于水平面的固定板,固定板的下方设有可上下活动的固定块,升降气缸固定在固定板上且输出端和固定块固定连接,固定块的内部设有镂空槽,镂空...
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