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本发明提供了一种薄膜沉积设备的监控系统及监控方法。其中，监控系统包括：数据获取模块，包括第一获取模块，用于获取沉积得到的薄膜的消光系数；监控模块，包括第一监控模块，用于判断所述消光系数是否异常，并在所述消光系数出现异常时，检查设备内的气体流...
该专利属于上海华力微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华力微电子有限公司授权不得商用。

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