下载一种评估InGaP/GaAsHBT外延片基极层材料特性的方法的技术资料

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本发明公开了一种评估InGaP/GaAs HBT外延片基极层材料特性的方法,该方法包括:提供一InGaP/GaAs HBT外延片,外延片包括了砷化镓衬底,砷化镓衬底上表面的n型子集电层,n型子集电层表面生长的n型集电层,n型集电层表面生长的...
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