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本申请涉及EUV光刻用表膜及其制造方法。公开了一种极紫外EUV光刻用表膜及其制造方法。EUV光刻用表膜包括具有多个通孔的表膜膜片。表膜膜片包括芯层和覆盖并保护芯层的保护层。框架支撑表膜膜片。框架支撑表膜膜片。框架支撑表膜膜片。
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该专利属于爱思开海力士有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过爱思开海力士有限公司授权不得商用。

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