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本发明涉及一种差分电容式MEMS麦克风及其制造方法，所述麦克风包括：第一振膜；第一背板，设于所述第一振膜的上方；第二背板；第二振膜，设于所述第二背板的上方；支撑层，设于所述第一振膜和第一背板之间，以及所述第二背板和第二振膜之间；其中，所述第...
该专利属于无锡华润上华科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡华润上华科技有限公司授权不得商用。

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