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本发明提供一种用于制造抛光垫的封闭浇筑模具系统，包括底座、环形侧壁、顶盖和温度控制器，所述顶盖和底座设置于所述环形侧壁的上下两端，由此共同构成制造抛光垫的封闭浇筑腔体；所述底座、环形侧壁以及顶盖均为中空结构，内部均设置有环形导热槽，各环形导...
该专利属于上海芯谦集成电路有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海芯谦集成电路有限公司授权不得商用。

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