专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
清华大学
>
量子点的无损光刻图案化方法和设备技术
>技术资料下载
下载量子点的无损光刻图案化方法和设备的技术资料
文档序号:34385165
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明提供了一种量子点的无损光刻图案化方法和设备,包括:将量子点与含有双吖丙啶基团的光敏交联剂的混合溶液制成薄膜;将所述薄膜置于紫外光照下,并借助于光掩膜版使所述薄膜接受所述紫外光照射的曝光区域发生交联反应;采用预设溶剂清洗所述薄膜,以洗脱...
该专利属于清华大学所有,仅供学习研究参考,未经过清华大学授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。