下载一种GaAs单晶生长工艺的技术资料

文档序号:34367619

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本申请涉及晶体生长领域,具体公开了一种GaAs单晶生长工艺。包括以下步骤单晶生长:装有GaAs熔体的坩埚逐渐下降,并依次经过高温区、晶体生长区、低温区,单晶生长的过程中,结晶界面始终处于晶体生长区内;所述高温区的温度区间为1260
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