下载半导体结构及其形成方法的技术资料

文档序号:34366935

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本发明提供了半导体结构。该半导体结构包括衬底和设置在衬底上方的堆叠结构。该堆叠结构包括多个交替堆叠的绝缘层与栅极构件。芯结构设置在堆叠结构中。该芯结构包括存储器层、沟道构件、接触构件和衬垫构件。该沟道构件设置在存储器层上。该接触构件设置在沟...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

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