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包括分离图案的半导体器件以及电子系统技术方案
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下载包括分离图案的半导体器件以及电子系统的技术资料
文档序号:34365564
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提供了一种包括分离图案的半导体器件以及电子系统。该半导体器件包括:水平布线层;堆叠结构,包括交替地堆叠在水平布线层上的多个模层和多个布线层;延伸穿过堆叠结构的多个沟道结构;以及延伸穿过堆叠结构的多个分离图案,其中所述多个分离图案中的每个包括...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。
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